Призначення
Мембранно-ємнісні вакуумметри INFICON серії SKY CDG025D - це високоточні манометри з компенсацією температурних впливів, які створені для стабільної роботи в жорстких умовах середовища виробничого обладнання.
Короткий опис
Удосконалена цифрова електроніка покращує експлуатаційні характеристики вакуумметра та спрощує керування ним, наприклад шляхом завдання уставки та встановлення нуля натисканням однієї кнопки. Конструкція датчика з корозійностійкої надчистої кераміки забезпечує чудову стабільність нуля протягом тривалого терміну служби – не менше ніж 7 мільйонів циклів зміни тиску, допускаючи навіть прорив атмосферного повітря. Унікальне екранування датчика (подано заявку на патент) захищає вакуумметр від забруднення технологічним середовищем. Надійна механічна конструкція та цифрова електроніка покращують електромагнітну сумісність, довготривалу стабільність та компенсацію температурних впливів. Модель CDG025D визначає нові стандарти швидкості для встановлення стабільного режиму після подачі живлення та відновлення після прориву атмосферного повітря.
Переваги та відмінності
- Межа показань від 100 міліторр до 1000 торр
- Швидке встановлення стабільного стану після подачі харчування
- Швидке відновлення після прориву атмосферного повітря
- Корозійностійкий керамічний датчик
- Чудова довготривала стабільність сигналу
- Компенсація температурних впливів
- Подвійний захист датчика від забруднення
- Встановлення нуля натисканням однієї кнопки
- Широкий діапазон джерел живлення
- 2 уставки
- Інтерфейс RS232
- Придатний для експлуатації у чистому приміщенні
Області застосування
Точний та швидкий вимір тиску для вимогливих додатків:
- Устаткування для виробництва напівпровідників, в якому використовуються наступні техпроцеси: травлення, хімічне осадження з газової фази, осадження з парової фази, атомно-шарове осадження
- Устаткування для виробництва пристроїв зберігання даних та екранів
- Промислове вакуумне обладнання
- Високоточний вимір тиску
Технічні характеристики (прилади у стандартному виконанні з відображенням показань у торрах)
1) Нелінійність з гістерезисом, повторюваність при робочій температурі навколишнього середовища 25°C без теплових ефектів через 2 години експлуатації
2) Збільшення 10...90% F.S.
3) Тільки для типу «контроль тиску»
4) Не під час роботи
5) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe
Технічні характеристики (прилади з відображенням показань у торрах та іншими діапазонами)
1) Нелінійність з гістерезисом, повторюваність при робочій температурі навколишнього середовища 25°C без теплових ефектів через 2 години експлуатації
2) Збільшення 10...90% F.S.
3) Тільки для типу «контроль тиску»
Інші характеристики див. у таблиці вище
