Вакуумні дифузійні паромасляні насоси розроблені для задоволення потреб у високому вакуумі промисловості та дослідницьких лабораторій. Чудова швидкість дії дифузійних насосів дозволяє використовувати їх у вакуумних печах, у вакуумних установках для нанесення покриттів лінз, в установках з нанесення тонкоплівкових покриттів та інших промислових цілях. Ці вакуумні насоси здатні досягати тиску порядку 10-6 - 10-7 мбар.

Дифузійний паромасляний вакуумний насос має металевий корпус, що охолоджується, у вигляді циліндра з глухим днищем, в яке вставлені паропроводи з соплами. Робочу рідину заливають у насос і вона підігрівається електричним нагрівачем. Пари рідини піднімаються паропроводами до сопла, виходять через них в об'єм насоса, конденсуються на стінках, і конденсат, що утворюється по стінках стікає вниз і знову потрапляє в кип'ятильник.

Внаслідок постійного випаровування та конденсації робочої рідини між паропроводами та об'ємом насоса підтримується значний перепад тисків. Внаслідок цього, а також внаслідок спеціальної конструкції сопел пар спливає в об'єм корпусу насоса із надзвуковою швидкістю. Молекули газу, що відкачується, дифундують у струмінь пари, при зіткненні з більш важкими частинками пари отримують спрямований рух вниз і до стінок корпусу і накопичуються в зоні конденсації пари. Там вони захоплюються рух наступним ступенем відкачування, послідовно стискаються кожним щаблем, поки не потраплять у зону дії механічного насоса і видаляться з дифузійного вакуумного насоса.