Призначення
Турбомолекулярні вакуумні насоси EVP серії FB гібрид є одним з механічних вакуумних насосів, які набирають надвисокий вакуум за допомогою високошвидкісного обертання ротора, що переміщає собою молекули газу і досягає чистий і надвисокий вакуум без крио пастки та масловідбивача.
Короткий опис
Турбомолекулярний вакуумний насос EVP серії FB гібрид не має опції для ефекту пам'яті на газ, що перекачується.
Через високий ступінь стиснення газу з важкою молекулярною масою насос може отримати чистий високий і надвисокий вакуум без крио пастки та відбивної пластини.
Переваги та відмінності
- Висока стабільність
- Легко досягає високого вакууму
- Висока швидкість потоку газу, висока швидкість відкачування
- Компактна конструкція займає мало простору.
- Різні положення установки (вертикальне чи горизонтальне)
- Тривалі інтервали технічного обслуговування
- Ті самі переваги, що і у звичайного турбомолекулярного насоса
Області застосування
- Виробництво напівпровідників
- Технології вакуумної обробки
- Мас-спектральний аналіз
- R & D та хімічна промисловість
- Вакуумне напиленням
 |
 |
